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[세미콘코리아 2018] 텍트로닉스, 반도체 디바이스 결함 분석 장비 하나로 쉽게 하세요

기사입력 2018.02.06 11:00
직관적인 UI로 사용성에 중점둔 제품

지난 1월 31일부터 2월 2일까지 열린 '세미콘코리아 2018'에 참가한 텍트로닉스는 4200A-SCS 파라미터 애널라이저를 선보였다.

4200A-SCS 파라미터 애널라이저는 소재, 반도체 디바이스, 프로세스의 전기적 특성을 분석하기 위해 통합된 모듈형 파라미터이다. 가시적인 UI와 편리한 테스 시퀀스로 사용성(Usability)에 중점을 둔 장비로 AC 측정 이동을 오류없이 수행할 수 있는 이점을 가졌다. 고화질 와이드 스크린 디스플레이가 장착되어 테스트 결과를 직관적으로 확인하고 조작할 수 있다.

기존의 SMU(소스 미터 유닛)으로 하던 I-V 테스트, C-V 테스트, 펄스 테스트가 가능하다. 장비 외부의 프로버 니들이나 이동 케이블을 움직이지 않고도 측정이 가능하고 프로브와 메인 바디 이외의 별도의 장비가 없이도 측정할 수 있다.

전체 통합식 모듈형 파라미터 분석기로 소재, 반도체 장치, 공정의 전기적 특성을 뒷받침한다. I-V 특성화를 위한 소스 측정 장치, AC 임피던스 측정용 커패시턴스-전압 모듈, 펄스 I-V와 파형 포착 및 트랜젠트 I-V 측정이 가능한 초고속 펄스 측정 장치로 구성된 4200A-SCS는 재료 연구, 반도체 장치 설계, 개발 또는 생산을 위해 연구자 또는 기술자가 필요로 하는 핵심 파라미터를 제공한다.

 
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