“몰리브덴 증착, 공급 장비 장기 안정성 관건”…머크, CHEMKEEPER®로 차세대 공정 대응
기사입력2026.07.24 12:47SEMI와 머크(Merck)가 공동 진행한 웨비나에서 머크의 Benjamin Garrett 박사는 ‘증착 공정의 게임 체인저: 차세대 공정 소재 몰리브덴과 첨단 공급 시스템’을 주제로 발표하며, 몰리브덴 디옥시디클로라이드 전구체(MoO₂Cl₂)와 CHEMKEEPER® 공급 시스템이 증착 공정의 ‘게임 체인저’가 될 것이라고 주장했다. 반도체 증착 공정에서 몰리브덴(Molybdenum, Mo)이 차세대 소재로 주목받는 가운데, 이를 양산 환경에서 안정적으로 공급하기 위한 전구체 순도와 전달 시스템의 중요성이 커지고 있다.
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