마이크로일렉트로닉스 연구소와 알박 협력
새로운 애플리케이션에 압전 MEMS 채택 위한 LiF 설립
첫 웨이퍼 생산 2021년 2분기, 대량생산 2022년 말 예상


ST마이크로일렉트로닉스(이하 ST)가 A*STAR(싱가포르 과학기술청, 이하 A*STAR) 산하 마이크로일렉트로닉스 연구소와 일본의 선도적인 제조 툴 공급업체인 알박이 협력해, 압전(Piezo) MEMS 기술에 주력하는 8인치(200nn) R&D 라인을 공동으로 설치 및 운영한다고 2일 밝혔다. 
이번 협력은 ST 싱가포르의 제조 공정 포트폴리오를 강화하고, 새로운 유망 애플리케이션 분야에서의 압전 MEMS 액추에이터 채택을 가속화할 것이다. 여기에는 스마트 안경을 위한 MEMS 미러와 AR 헤드셋 및 라이다(LiDAR) 시스템, 새로운 의료 애플리케이션용 PMUT(Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer), 상업용 및 산업용 3D 프린팅을 지원하는 압전 헤드(Piezo Head) 등이 있다.

이는 세계 최초의 ‘LiF(Lab-in-Fab)’ R&D 라인으로, 신소재 및 공정기술을 산업 고객용 제품으로 개발하기 위해 압전 소재와 압전 MEMS 기술, 웨이퍼-팹 툴에 대한 첨단 기술 역량을 결합해 혁신을 촉진한다.

이번 LiF는 MEMS R&D와 공정 과학자 및 엔지니어를 비롯해 세 조직의 툴과 전용 인력을 유치할 예정이다. 

IME는 압전 MEMS 디바이스 설계, 공정 통합, 시스템 통합에 대한 전문지식과 산업적 추진력을 기반으로 라인 개발에 기여하게 된다. IME는 최첨단 툴도 제공해 제품의 생산과정까지 한 장소에서 원활하게 모든 플로우를 유지하도록 돕는다. 

새로운 R&D 라인은 기존의 ST 인력 활용도 가능하다. 같은 캠퍼스 내에 위치한 ST 웨이퍼 팹을 통한 규모의 경제 혜택도 얻을 수 있다. 

ST의 아날로그, MEMS, 센서 그룹 사장 베네디토 비냐(Benedetto Vigna)는 “LiF는 타당성 연구에서 제품 개발 및 대량생산에 이르기까지, 고객들에게 보다 쉽게 진행할 수 있는 역량을 제공하게 될 것이다”라고 밝혔다.

한편, 이 LiF 시설은 2021년 2분기에 첫 번째 웨이퍼를 생산하고 2022년에 대량생산이 가능하도록 준비 및 운영될 전망이다.