‘식각’ 키워드 기사 4건
“반도체 특수가스, ‘품질·공급망·환경’이 경쟁력 결정”
김오현 에어리퀴드솔루션즈코리아 대표이사가 지난 4월24일 FKI타워 컨퍼런스센터에서 열린 ‘고기능성 반도체 소재 기술세미나’에서 ‘Electronic Specialty Gas - Product trends and new developments’를 주제로 발표하며, 반도…
2026.04.28 by 배종인 기자
재료연구원, 반도체 식각 공정시 부식·오염 문제 해결
한국재료연구원(KIMS, 원장 최철진) 나노재료연구본부 마호진 박사 연구팀이 부산대학교 이정우 교수 연구팀과 공동연구를 통해 반도체 제조 공정 중 식각장비 내부 부품의 수명을 늘리고 오염 입자를 줄이는 투명한 내플라즈마성 고엔트로피 세라믹 신(新)조성과 공정 기술을 세…
2025.01.15 by 배종인 기자
램리서치, 극저온 식각 기술로 3D 낸드 1천단 개척
램리서치가 3세대 극저온 유전체 식각 기술인 Lam Cryo™ 3.0을 통해 메모리 칩 제조사들이 목표로 하고 있는 2030년 1,000단 3D 낸드 양산을 실현하는데 적극 나선다.
2024.08.01 by 배종인 기자
ACM 리서치, 웨이퍼 습식 식각기 '베벨 에치' 공급
IC 제조 공정 중 3D NAND, DRAM, 고급 로직 공정에서 웨이퍼 에지 박리, 파티클, 잔여물로 인해 웨이퍼 에지 수율 저하가 발생하고 있다. 이를 해결하기 위해 전체 공정 수율 제고 필요성이 커지고 있다. ACM 리서치 베벨 에치 식각 장비는 습식 식각 방식을…
2021.08.26 by 이수민 기자