STI 보호용 PECVD·메탈 게이트 형성용 ALD 어플라이드 머티어리얼즈가 2나노 이하 게이트올어라운드(GAA) 공정을 겨냥한 증착 장비 2종을 발표했다. 이번에 공개한 장비는 Precision 선택적 질화막 ..
2026.04.14by 배종인 기자
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