미세 구조 제어
미세 구조 제어
image

어플라이드, 2나노 이하 GAA 공정용 증착 장비 2종 발표

  STI 보호용 PECVD·메탈 게이트 형성용 ALD   어플라이드 머티어리얼즈가 2나노 이하 게이트올어라운드(GAA) 공정을 겨냥한 증착 장비 2종을 발표했다. 이번에 공개한 장비는 Precision 선택적 질화막 ..

2026.04.14by 배종인 기자

1