기계연, 롤투롤 마스크리스 리소그래피 시스템 개발

한국기계연구원이 유연기판의 연속 패터닝을 가능하게 하는 롤투롤 디지털 마스크리스 리소그래피 시스템을 개발했다. 실시간 기판 변형 및 이송 오차 보정 기술을 적용해 10㎛ 이하의 고해상도 패턴을 연속으로 형성할 수 있으며, 웨어러블 기기와 플렉서블 디스플레이 등 유연전자…

2026.06.29 by 배종인 기자