제덱스, 나노 공정 대응 파티클 검사장치 ‘M802ESC’ 출시

반도체 파티클 제어 기업 제덱스가 공정 핵심 부품의 미세 입자를 정량 분석할 수 있는 검사 시스템 ‘M802ESC’를 출시했다. 이 장비는 직경 610mm, 최대 50kg 시료에 대응하며 0.1μm 이상 입자를 기본 검출한다. 옵션 적용 시 10nm 센서를 통해 극초미…

2026.02.19 by 명세환 기자