정전척·스퍼터링 타겟·FOUP까지 정량 분석 확대 반도체 파티클 제어 전문기업 제덱스가 정전척(ESC), 스퍼터링 타겟, FOUP 등 공정 핵심 부품을 대상으로 정밀 파티클 검사가 가능한 시스템 ‘M80..
2026.02.19by 명세환 기자
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