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인피니티시마, ASML 등과 3년간 차세대 웨이퍼 계측 공동 개발 착수
인피니티시마는 ASML 등 주요 파트너사와 함께 Metron3D 300㎜ 인라인 웨이퍼 계측 시스템의 성능 고도화 프로젝트에 돌입했다. 이 프로젝트는 인피니티시마의 특허 기술인 RPM™(Rapid Probe Microscope)을 중심으로 전개되며, 고속 이미지 획득과…
2025.07.24 by 명세환 기자
인피니티시마는 ASML 등 주요 파트너사와 함께 Metron3D 300㎜ 인라인 웨이퍼 계측 시스템의 성능 고도화 프로젝트에 돌입했다. 이 프로젝트는 인피니티시마의 특허 기술인 RPM™(Rapid Probe Microscope)을 중심으로 전개되며, 고속 이미지 획득과…
2025.07.24 by 명세환 기자