기가포톤, ArF 엑시머 레이저용 네온 가스 재활용 시스템 개발…재활용률 50% 달성

기가포톤이 ArF 엑시머 레이저용 가스 재활용 시스템을 개발해 네온 가스 재활용률 50%를 달성했다고 밝혔다.

2026.10.02 by 배종인 기자