세계 반도체 산업의 핵심 안전 기준인 ‘SEMI S2’ 최신 한글 번역본이 공개되며, 반도체 제조 장비의 설계 및 안전성 평가 전 분야에서 최신 안전 기준을 현장에 바로 적용할 수 있을 것으로 기대된다.

국제반도체장비재료협회(SEMI)는 SEMI S2-0724 개정판을 국내 실무자가 쉽고 정확하게 이해·적용할 수 있도록 번역해 배포한다고 2일 밝혔다.

그간 영문으로만 제공되어 반도체 장비업체와 중소 협력사의 진입 장벽이 높았던 점을 해소했다.

SEMI S2는 반도체·디스플레이 제조장비의 설계·안전성 평가 전 분야에 적용되는 국제표준으로, 화재·감전·폭발 위험을 줄이기 위한 기계·전기·가스 시스템 안전 요건과 비상정지, 인터록(interlock) 기능 등이 상세히 규정돼 있다.

국내외 대형 팹(fab)과 연구소에서 필수 지침으로 활용 중이다.

이번 번역 작업에는 삼성전자와 SK하이닉스 EHS(안전·보건·환경) 전문가 5명을 포함해 Applied Materials, ASM, ASML, ICR, KTR, PCA, Safe World Engineering, Salus Engineering International, Tokyo Electron, Wonik IPS 등 장비·시험·인증 분야 전문가 총 26명이 참여했다.

SEMI코리아 주관으로 구성된 워킹그룹은 올해 3월부터 4개월간 정기 회의를 통해 용어 통일·표현 정확성 검토와 현장 테스트를 병행했다.

번역본은 SEMI S2-0724의 주요 개정 항목을 충실히 반영했다.

고압 시스템(High Pressure System), 장비 해체(Equipment Decommissioning), 화재 예방(Fire Protection), 가연성 물질(Flammable Substances), SEMI S30(Energetic Materials) 참조, 리프팅 장치 및 힌지 부하(Lifting Equipment and Hinged Loads), 안전 라벨(Safety Labels) 등 여덟 개 분야의 세부 요구사항을 명확한 한글 용어로 풀어냈다.

실무자는 각 조항별 의무 사항과 적용 사례를 직관적으로 파악할 수 있다.

프로젝트 공동 리더인 ASM 남승경 수석은 “이번 번역본은 기존 오류를 바로잡고 최신 안전 기준을 현장에 즉시 반영할 수 있도록 구성했다”며 “실무자가 설계·평가 과정에서 겪던 해석 혼선을 크게 줄여줄 것”이라고 말했다.

PCA 박현준 과장도 “중소 협력업체가 SEMI S2를 손쉽게 이해해 인증·평가 기간을 단축하고 비용을 절감할 수 있도록 지원한다”고 강조했다.

SEMI는 지난 50년간 반도체·디스플레이 산업을 대상으로 총 30건의 안전 표준을 제정해 왔으며, S2는 이 중에서도 핵심 문서로 인정받는다.

SEMI는 2013년부터 S6, S10, S14, S21, S23, S29 등 6건의 표준 한글 번역본을 발간해 왔으며, 이번 번역본을 포함해 총 7개 문서를 공개했다.

한글 번역본은 SEMI 공식 홈페이지(www.semi.org)와 SEMIViews 구독 서비스를 통해 무료로 열람·다운로드할 수 있다.

또한 SEMI코리아와 한국반도체산업협회(KSIA) 공식 채널에서도 배포되며, 향후 국가표준(KS) 제정 시 주요 참고자료로 활용될 예정이다.

SEMI 관계자는 “한글 번역본 공개로 국내 반도체장비 안전 관리 수준이 한층 높아지고, 인증·평가 과정의 효율성이 크게 향상될 것”이라고 말했다.