국내 일산화질소(NO) 전문 기업인 HK머티리얼즈가 국내 최초 NO 합성 경쟁력을 바탕으로 국내 반도체 기업 및 대만 TSMC 등 해외기업에 활발한 반도체용 특수가스 공급을 하며, 국내 반도체용 특수가스 산업 발전에 기여하고 있다.

최근 본지가 방문한 HK머티리얼즈는 코로나19 상황에도 불구하고, 반도체용 수요증가에 반도체용 특수가스 생산에 한창 바쁜 시간을 보내고 있었다.

HK머티리얼즈의 주요 품목은 반도체용 일산화질소(NO)로 국내 최초로 NO 합성 설비를 구축했고, 합성에서 정제까지 일괄 공정을 갖추고 있다.

또한 다년간의 노하우를 통한 원가절감으로 가격 경쟁력까지 갖추고 있다.

반도체용 특수가스인 NO는 반도체 제조 공정 중 NO gas를 이용한 annealing(열처리) 공정에 질산화 막을 형성하는데 기여하는 가스다.

낮은 온도에서 질산화 막을 형성하여, 산화균일도(Oxidation uniformity)를 우수하게 만들며, 누설 전류의 특성을 향상 시키는 장점이 있다.

HK머티리얼즈는 국내 주요 반도체 업체 및 대만 TSMC에 NO를 공급하고 있으며, 향후 반도체 수요 증가 및 주요 반도체 업계 증설에 따라 NO 등 특수가스 사용량 증설에 매출 증가가 기대되고 있다.

이에 기존에는 47ℓ 실린더로 공급했지만 최근 반도체용 대량 공급을 위해 Y실린더 테스트를 진행 중에 있다.

NO 이외에도 10% 저메인(10%GeH4)도 생산 하고 있으며, 정제로 인한 품질 우수성도 갖추고 있다고 한다.

또한 최근 일본과의 무역분쟁에서 문제가 된 불화수소(HF)도 안정된 공급망을 구축하는 한편, 공장 내 불화수소 분석설비를 갖추어 무엇보다 경쟁력을 갖췄다.

김성중 HK머티리얼즈 전무이사는 “향후 NO 및 GeH4 매출 확대 및 해외 시장 공급 확대로 회사 성장에 기여하고, 신규 아이템 투자를 통한 사업확장으로 국내 반도체용 초고순도 특수가스 국산화 및 역량 강화에 기여하겠다”고 전했다.