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“반도체 특수가스, ‘품질·공급망·환경’이 경쟁력 결정”
기사입력2026.04.28 14:48
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“몰리브덴 증착, 공급 장비 장기 안정성 관건”…머크, CHEMKEEPER®로 차세대 공정 대응
SEMI와 머크(Merck)가 공동 진행한 웨비나에서 머크의 Benjamin Garrett 박사는 ‘증착 공정의 게임 체인저: 차세대 공정 소재 몰리브덴과 첨단 공급 시스템’을 주제로 발표하며, 몰리브덴 디옥시디클로라이드 전구체(MoO₂Cl₂)와 CHEMKEEPER® 공급 시스템이 증착 공정의 ‘게임 체인저’가 될 것이라고 주장했다. 반도체 증착 공정에서 몰리브덴(Molybdenum, Mo)이 차세대 소재로 주목받는 가운데, 이를 양산 환경에서 안정적으로 공급하기 위한 전구체 순도와 전달 시스템의 중요성이 커지고 있다.
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머크(Merck)가 K-Display 2026과 IMID에서 광학과 반도체 기술을 결합한 디스플레이 솔루션을 공개한다. 120년 이상 축적한 소재 기술력을 바탕으로 차세대 OLED 소재 전략과 광학 기술 방향성을 제시할 예정이며, 산학 연계 투어와 ‘머크 사이언스 커넥트’ 세션을 통해 업계와 학계에 최첨단 기술을 선보인다.
2026.07.22by 배종인 기자
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재료연, 고내구 백금-니켈 수전해 촉매 기술 개발
한국재료연구원이 부경대·포항공대와 함께 음이온교환막 수전해용 고내구 백금-니켈 촉매 기술을 개발했다. 3,000시간 연속 운전 후 성능 저하가 2% 미만으로 유지되어 기존 촉매의 내구성 문제를 극복했다. 그린수소 생산설비의 촉매 교체 주기 연장과 유지비용 절감에 기여할 것으로 기대된다.
2026.07.14by 배종인 기자
