ACM 리서치가 싱가포르의 다국적 파운드리 고객사 생산라인에 300mm 단일 웨이퍼 세정 시스템을 공급하며 동남아시아 시장 공략에 나섰다. 이번 공급은 ACM의 싱가포르 반도체 팹 첫 납품 사례로, 회사의 해외 생산거점 지원 전략이 실제 장비 공급으로 이어졌다는 점에서 주목된다.

ACM 리서치는 3월31일 이 같은 사실을 공개했다. 회사에 따르면 장비는 싱가포르에 위치한 고객사의 전공정 웨이퍼 팹 생산라인에 들어갔으며, 첨단 반도체 제조 공정에서 필요한 웨이퍼 후면 세정과 습식 식각 공정을 지원하도록 설계됐다.

이번에 공급된 시스템은 웨이퍼 후면 처리 과정의 안정성에 초점을 맞췄다. 베르누이 척을 활용한 질소 보호 기반 핸들링 기술을 적용해 공정 중 웨이퍼를 보다 안정적으로 다루도록 했고, 질소 기반의 두 가지 유체 세정 기술과 노즐 스캐닝 구조를 결합해 세정 및 식각 균일도를 높이도록 구성됐다.

운영 효율을 고려한 기능도 포함됐다. 장비에는 화학물질 재활용 기능이 통합돼 있어 공정 운영 비용을 줄이는 데 도움을 줄 수 있도록 했다. 또한 실리콘 공정뿐 아니라 박막 공정을 포함한 다양한 습식 식각 공정에 적용할 수 있어, 단일 장비의 활용 범위를 넓힌 것이 특징이다.

ACM 측은 해당 시스템의 핵심 공정 기술이 국제적인 검증 절차를 거쳤으며, 글로벌 반도체 제조업체들이 요구하는 성능과 수율, 신뢰성 기준에 맞춰 설계됐다고 설명했다. 회사는 이를 통해 지역별로 확대되는 고객사의 생산 능력 증설에 대응할 수 있는 장비 공급 역량을 입증했다는 입장이다.

싱가포르는 아시아를 포함한 여러 시장을 연결하는 반도체 생산 거점으로 꼽힌다. 업계에서는 이번 공급이 단일 장비 납품을 넘어, ACM이 동남아 생산기지에 본격적으로 발을 들였다는 신호로 해석하고 있다. 반도체 공급망이 지역별로 재편되는 흐름 속에서 장비 기업의 현지 대응력과 고객 맞춤형 지원 체계가 수주 경쟁력의 한 요소로 부각되고 있어서다.